中山市海泰真空設備有限公司也逐步的開(kāi)發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線(xiàn)，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問(wèn)題。
真空系統出廠(chǎng)時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過(guò)濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道,即可以組成一個(gè)完整的真空系統。
該真空系統的控制系統由先進(jìn)的PLC控制系統經(jīng)過(guò)編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實(shí)現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動(dòng)化控制。
變頻螺桿真空系統的特點(diǎn)：
1、清潔環(huán)保：工作腔內無(wú)潤滑油，為干式真空泵，有利于介質(zhì)回收，可獲得清潔真空，工作過(guò)程中無(wú)廢油、廢水排放，對環(huán)境無(wú)污染，是環(huán)保真空設備。
2、真空度高：轉子型線(xiàn)優(yōu)化設計，采用德國五軸聯(lián)動(dòng)復合加工中心精密加工而成，單泵極限壓力≤1Pa，，高真空區抽氣量大，工作效率高，功耗低。
3、防腐可選設計：根據不同抽氣介質(zhì)，過(guò)流部件有鈦材料、不銹鋼、納米陶瓷、噴涂NIP合金等多種材質(zhì)及防腐鍍。
熱處理用真空系統的好處：
1、基本上無(wú)公害。
2、真空熱處理可實(shí)現無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳加熱。
3、零件經(jīng)真空熱處理后，畸變小，質(zhì)量高。
4、有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
5、真空加熱爐可在較高溫度下工作。
6、某些化學(xué)熱處理，如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼，以及多元共滲速度較快，省時(shí)間，效率較高。
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