在制造業(yè)工廠(chǎng)生產(chǎn)過(guò)程中，真空泵是一個(gè)至關(guān)重要的設備。它的作用是將氣體排出設備，從而創(chuàng )造一個(gè)真空環(huán)境，以確保半導體生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。然而，由于長(cháng)期使用和不當維護，真空泵可能會(huì )出現故障，影響生產(chǎn)效率。
中山維修真空泵的要點(diǎn)是判斷故障。真空抽不上去，原因可能有幾個(gè)，一定要搞清楚是什么原因。
是真空泵的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之，需要耐心觀(guān)察和記錄，從中找出故障原因，比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候，關(guān)閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏了，應先查出漏點(diǎn)。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上，看是哪里出現了泄漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。
在真空設備維修中用戶(hù)蕞頭疼的一定是檢測漏率問(wèn)題了。漏分內漏和外漏；外漏比較好檢測，內漏則難辦些。外漏較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機在可疑點(diǎn)附近逐步查尋，會(huì )發(fā)現火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。內漏則要從不同真空工作區域分區排查，在真空系統達到一定壓力值后，分別啟動(dòng)卷繞和蒸發(fā)系統，觀(guān)察真空計的讀數在短暫下降后有無(wú)爬升，可以初步判斷內漏點(diǎn)方向。內漏多發(fā)生在有水冷卻點(diǎn)的設備上，在查外漏沒(méi)有發(fā)現疑點(diǎn)，但是卻有以下現象：機械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機械泵油很快乳化，真空室內的鐵基零部件明顯銹蝕等，具備以上條件基本可以推斷內漏，先將腔體清理干凈，再通冷卻水，仔細查看通水管路有無(wú)濕潤點(diǎn)，濕潤處就是漏點(diǎn)。
說(shuō)到這里可能的大家覺(jué)得好像檢漏也不是那么難啊，為啥說(shuō)是蕞頭疼的問(wèn)題呢， 其實(shí)呢，大的漏點(diǎn)并不難找，蕞困難的是小漏和微漏了。
可以利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應敏感來(lái)檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，結合指針式真空計，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計的指針會(huì )有明顯擺動(dòng)，用這種方法檢漏一定要有耐心，要等到電離計的示值穩定了，也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，再?lài)娚?，反復幾次，確認漏點(diǎn)。
中山維修真空泵一定要注意幾個(gè)環(huán)節，拆卸、清潔、檢驗、裝配。真空設備無(wú)論大小都屬于精密機械設備，這點(diǎn)很重要。拆卸應遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲；清洗零件時(shí)要干凈、徹底，以便于發(fā)現問(wèn)題和查出隱患；真空泵類(lèi)產(chǎn)品與一般機械產(chǎn)品有較大區別，一般機械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手，應多加小心，切記。
檢查漏點(diǎn)是個(gè)細致活，每個(gè)細節都不要落掉，更不能存在僥幸心理。經(jīng)常有廠(chǎng)家來(lái)求助，說(shuō)什么都查了，就是真空上不去，可能就是一根供氣的真空膠管沒(méi)查，或者一個(gè)水接頭處。問(wèn)題往往出現在不經(jīng)意之處。
中山維修真空泵切記不可操之過(guò)急，故障沒(méi)搞清楚就想當然地開(kāi)始動(dòng)手拆卸，會(huì )舊病未除又添新病，把本來(lái)簡(jiǎn)單的問(wèn)題搞復雜化了。
有很多廠(chǎng)家問(wèn)到，常規的中山維修真空泵可以按部就班地去做，應急條件下設備出了故障，生產(chǎn)任務(wù)又急不可待，這種情況下應該如何處理？ 這時(shí)，只要判斷故障準確，采用手頭上現有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料，只要與在制品不發(fā)生沖突，就可以進(jìn)行修理，應急的原則是在不損壞設備和不影響在制品的條件下做到設備能正常生產(chǎn)。
真空設備的配套領(lǐng)域愈來(lái)愈廣，很多是與電、電磁、水、氣源和制冷有關(guān)的。相當多的情況下不是單一部分的問(wèn)題，這一點(diǎn)讓人難以在故障排查中進(jìn)行綜合考量，有的是機械裝配中精度不到位造成的，有的是絕緣材料或結構上的問(wèn)題，這時(shí)，不要急于下結論，不要急于拆卸設備，應認真查勘分析故障現象，以及請教設備廠(chǎng)家專(zhuān)業(yè)人員，避免誤拆誤卸造成不必要的損失。
良好的真空度是真空設備運行的前提，在日常使用中，好凱德真空科技也希望大家能認真仔細的做好常規維護，防小微杜大患，穩定生產(chǎn)以獲取蕞大利潤。 http://m.elchurrito.com/